紫外線臭氧清洗機(jī)可常用于掃描探測(cè)顯微鏡的樣品，用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)和表面上常規(guī)的油漬層和殘留的無機(jī)材料，也能用來改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學(xué)改性，經(jīng)過氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過程中保持探針的幾何形狀，削尖的探針有利于提高側(cè)向分辨率。

　　紫外線臭氧清洗機(jī)的作用

　　表面UV光清洗：利用紫外光以及由其產(chǎn)生的臭氧OZONE，對(duì)有機(jī)物質(zhì)所起的光敏氧化分解作用，以達(dá)到去除粘附在物體表面上的有機(jī)化合物（碳?xì)浠衔铮?，獲得超潔凈的表面。

　　表面UV光改質(zhì)：利用紫外光照射有機(jī)表面，在將有機(jī)物分解的同時(shí)，254nm波長(zhǎng)的紫外光被物體表面吸收后，將表層的化學(xué)結(jié)構(gòu)切斷，光子作用產(chǎn)生原子氧會(huì)與被切斷的表層分子結(jié)合，并將之變換成具有高度親水性的官能基（如-OH，-CHO，-COOH），從而提高表面的浸潤(rùn)性。

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